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金属卤素灯在含有汞及氩气等稀有气体的UV灯的基础上添加铁掺合、钾掺合或其它稀土金属原素掺合。铁掺合卤素灯特别增强了380hm作为比较高波峰。主要适用于油墨、油漆的固化，干膜、湿膜，绿色阻焊的曝光。在网印和固化中带颜色，特别是涂层较厚的产品和白色、黑色的干燥有突出的效果。PCB、LCD行业：pcb 是电路板 uv灯管用于电路板的印刷一般使用METAL（金属卤素灯管），另外还有一种是曝光灯也属于金属卤素灯 PCB制作的时候，用于曝光显影的，一般用在电路板公司。lcd是显示屏，一般用低压冷紫外线灯管和固化用的灯管不一样，但是都属于紫外线灯，用途不一样。手持式紫外线照度计国外品牌有哪些？EXPOSURE LAMP紫外线灯ONL12000

制造厂家：ORCMANUFACTURINGCO.,LTD产品名称：超高压汞灯（Super-hightpressuremercurylamp）LAMP型号:ONL-13501适用设备：FX-67S/FX-67S2/86S曝光设备功率：13KW主要波长分布:365nm/405nm/436nm灯管结构：由灯座，阴阳极，石英球体，稀有气体，液体汞等要素构成发光原理：灯管在高温，高压，多种特殊气体灌入的环境下，电子和汞蒸汽原子相互碰撞，发出多种波长的紫外线光。用途:液晶显示面板制作工厂，TFTArrayPhoto黄光部门曝光设备的光源.交货周期：30天韩国印刷电路板回路形成用光源紫外线灯尼康高压汞灯主要制造商是USHIO?

ORC制作所生产超高压汞灯，英文：super high pressure mercury lamp，点灯时，汞蒸气压力为100～10000KPa，主要发射波长在365nm，395nm，405nm，436nm，累计光量可达数千kJ/mol(52.3kcal/mol)的汞蒸气弧光灯。短弧超高压汞灯是一种装有一对钍钨电极的球形石英玻壳放电灯。玻壳内充少量启动氩气和定量的汞,极间距离0.2～8mm,功率1,000～350,000W,工作时形成“电极稳定型”电弧, 一般采用垂直点灯,强制风冷。短弧超高压汞灯的有效寿命为750～3000h, 。 短弧超高压汞灯是辐射极强的长波紫外光源应用于集成电路光刻制版工艺。

扫描步进投影曝光（Scanning-Stepping Project Printing）。90年代末至今，用于≤0.18μm工艺。采用6英寸的掩膜板按照4：1的比例曝光，曝光区域（Exposure Field）26×33mm。优点：增大了每次曝光的视场；提供硅片表面不平整的补偿；提高整个硅片的尺寸均匀性。但是，同时因为需要反向运动，增加了机械系统的精度要求。d. 高精度双面：主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和生产。高精度特制的翻版机构、双视场CCD显微显示系统、多点光源曝光头、真空管路系统、气路系统、直联式无油真空泵、防震工作台等组成。适用于φ100mm以下，厚度5mm以下的各种基片的对准曝光。254nm紫外线照度计ORC型号UV-M03A。

b.接近式曝光（Proximity Printing）:掩膜板与光刻胶基底层保留一个微小的缝隙（Gap），Gap大约为0～200μm。可以有效避免与光刻胶直接接触而引起的掩膜板损伤，使掩膜和光刻胶基底能耐久使用；掩模寿命长（可提高10 倍以上），图形缺陷少。接近式在现代光刻工艺中应用。c.投影式曝光（Projection Printing）:在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光。一般掩膜板的尺寸会以需要转移图形的4倍制作。优点：提高了分辨率；掩膜板的制作更加容易；掩膜板上的缺陷影响减小。投影式曝光分类：扫描投影曝光（Scanning Project Printing）。70年代末～80年代初，〉1μm工艺；掩膜板1：1，全尺寸；步进重复投影曝光（Stepping-repeating Project Printing或称作Stepper）。80年代末～90年代，0.35μm（I line）～0.25μm（DUV）。掩膜板缩小比例（4：1），曝光区域（Exposure Field）22×22mm（一次曝光所能覆盖的区域）。增加了棱镜系统的制作难度。ORC紫外线灯中国代理店。NIKON EXPOSURE紫外线灯UNL-12000

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分辨率为1.5μm的“fx-903m”尼康开发出了2款支持第4代玻璃底板（尺寸为730mm×920mm）的中小尺寸液晶面板用曝光装置。包括生产率比原机型提高10％的“fx-803m”以及分辨率增至1.5μm的“fx-903m”。支持手机及车载用中小尺寸液晶面板的高精细化和高性能化。计划4月开始受理订单。采用步进曝光方式，使用尺寸150mm×150mm、厚度约6mm的光罩，可实现高精度的对准曝光。“fx-903m”通过增大i线镜头的直径、降低像差，实现了1.5μm的分辨率。30个镜头的制程时间均为61秒。另外，在用于便携设备的平板显示器（fpd）技术方面，EXPOSURE LAMP紫外线灯ONL12000

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